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＜図書＞
薄膜作製応用ハンドブック
ハクマク サクセイ オウヨウ ハンドブック
| 責任表示 | 酒井忠司 [ほか] 編集委員, 宮﨑照宣編集協力委員 |
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| データ種別 | 図書 |
| 版 | 2020版 |
| 出版情報 | 東京 : エヌ・ティー・エス , 2020.2 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | 38, 6, 16, 1468, 21, 15p : 挿図 ; 27cm |
| 目次 | 第1編 薄膜材料の特性と特徴(薄膜の特性と特徴 薄膜材料の電気特性 ほか) 第2編 薄膜の作製と加工(基板と表面処理 PVD法 ほか) 第3編 薄膜・表面・界面の分析・評価(薄膜・表面・界面の分析評価法 薄膜分析・評価対象各論) 第4編 薄膜技術の応用と展望(電子デバイス 光部品 ほか) |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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筑紫図 1D 450-599 | 549/G 63 | 2020 |
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160012023004871 |
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書誌詳細
| 別書名 | 表紙タイトル:Handbook of thin film fabrication and application 異なりアクセスタイトル:2020版薄膜作製応用ハンドブック |
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| 一般注記 | 監修: 權田俊一 第2版(2003年刊)につづく第3版にあたる 巻頭: 口絵 各章末: 参考・引用文献 巻末: 索引・付録(評価方法と評価対象一覧) |
| 著者標目 | 権田, 俊一 (1936-) <ゴンダ, シュンイチ> 酒井, 忠司 <サカイ, タダシ> 田畑, 仁 <タバタ, ヒトシ> 八瀬, 清志 <ヤセ, キヨシ> 宮崎, 照宣 (1943-) <ミヤザキ, テルノブ> |
| 件 名 | NDLSH:薄膜 |
| 分 類 | NDC8:549 NDC8:549.036 NDLC:ND2 NDLC:ND371 |
| 書誌ID | 1001799929 |
| ISBN | 9784860436315 |
| NCID | BB29670662 |
| 巻冊次 | ISBN:9784860436315 ; PRICE:69000円+税 |
| 登録日 | 2024.03.18 |
| 更新日 | 2024.03.18 |