Handbook of silicon based MEMS materials and technologies

＜図書＞
Handbook of silicon based MEMS materials and technologies

責任表示	edited by Markku Tilli ... [et al.]
シリーズ	Micro and nano technologies series
データ種別	図書
版	3rd ed
出版情報	Amsterdam : Elsevier , c2020
本文言語	英語
大きさ	xxix, 996 p. : ill. ; 28 cm

状態	巻次	所蔵場所	請求記号	刷年	文庫名称	資料番号	コメント	予約・取寄	複写申込	自動書庫
	pbk.	理系図2F 開架	530/Ti 4	2020		130012020508018		予約・取寄			予約・取寄
	pbk.	筑紫図 1D 450-599	530/Ti 4	2020		160012020500071		予約・取寄			予約・取寄

一般注記	Other editors: Mervi Paulasto-Kröckel, Matthias Petzold, Horst Theuss, Teruaki Motooka, Veikko Lindroos Includes bibliographical references and index
著者標目	Tilli, Markku Paulasto-Kröckel, Mervi Petzold, Matthias Theuss, Horst 本岡, 輝昭(1947-) <モトオカ, テルアキ> Lindroos, Veikko
件　名	LCSH:Microelectromechanical systems LCSH:Silicon
分　類	DC23:621.381
書誌ID	1001700957
ISBN	9780128177860
NCID	BC0002373X
巻冊次	pbk. ; ISBN:9780128177860
NBN	019756064
登録日	2020.10.07
更新日	2020.10.08