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＜図書＞
創立20周年・社団法人化10周年記念誌 : 創造の20年/先端技術への挑戦
ソウリツ 20シュウネン シャダン ホウジンカ 10シュウネン キネンシ : ソウゾウ ノ 20ネン センタン ギジュツ エノ チョウセン
| 責任表示 | SEAJ創立20周年記念事業推進特別委員会編集・制作 |
|---|---|
| データ種別 | 図書 |
| 出版情報 | 東京 : 日本半導体製造装置協会 , 2005.9 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | 135p ; 31cm + CD-ROM1枚 |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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理系図2F 開架 | 549.8/N 71 | 2005 |
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130012019502901 |
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書誌詳細
| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:創立20周年社団法人化10周年記念誌 : 創造の20年先端技術への挑戦 |
|---|---|
| 一般注記 | 装置の歴史: p54-61 参考文献: p126 SEAJの沿革: p129 |
| 著者標目 | 日本半導体製造装置協会 <ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ> |
| 件 名 | NDLSH:日本半導体製造装置協会 |
| 分 類 | NDC9:549.06 NDLC:YU7 NDLC:D3 NDLC:DL475 |
| 書誌ID | 1001675945 |
| NCID | BA76544611 |
| NBN | JP20906917 |
| 登録日 | 2019.05.20 |
| 更新日 | 2019.05.20 |