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＜図書＞
From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications
| 責任表示 | Marc J. Madou |
|---|---|
| シリーズ | Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou ; v. 3 |
| データ種別 | 図書 |
| 版 | 3rd ed |
| 出版情報 | Boca Raton : CRC Press , c2012 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xiii, 636 p. : ill. (some col.), ports. ; 29 cm |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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: hardback | 理系図2F 開架 | 549.9/Ma 25 | 2012 |
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031212017000388 |
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: hardback | 理系図2F 開架 | 549.9/Ma 25 | 2012 |
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130012021003944 |
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書誌詳細
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index "This third edition of Fundamentals of microfabrication"--P. [v] |
|---|---|
| 著者標目 | *Madou, Marc J. |
| 件 名 | LCSH:BioMEMS LCSH:Nanoelectromechanical systems LCSH:Nanotechnology LCSH:Biotechnology |
| 分 類 | LCC:TP248.25.B54 DC22:621.381 |
| 書誌ID | 1001643808 |
| ISBN | 9781420055160 |
| NCID | BB06583387 |
| 巻冊次 | : hardback ; ISBN:9781420055160 |
| 登録日 | 2017.10.25 |
| 更新日 | 2017.10.25 |