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＜図書＞
薄膜工学
ハクマク コウガク
| 責任表示 | 日本学術振興会薄膜第131委員会編集企画 ; 吉田貞史, 近藤高志編著 |
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| データ種別 | 図書 |
| 版 | 第3版 |
| 出版情報 | 東京 : 丸善出版 , 2016.11 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | x, 302p : 挿図 ; 21cm |
| 概要 | 薄膜技術は基礎的な技術でありながら、関連する応用分野は広く、とくに今日のナノテクノロジーは微細加工・微細構造作製技術と組み合わされた薄膜技術なしには成り立たない。本書では基本を重視する従来の編集方針はそのままに、近年ますます広がりをみせる薄膜技術に対応すべく、大幅な改訂を行った。薄膜分野に携わる研究者、技術者にとって、基本技術の解説書として最適な一冊である。 |
| 目次 | 1 薄膜工学の基礎(薄膜の歴史 薄膜と工学 ほか) 2 薄膜作製法(真空蒸着法・MBE法 スパッタリング ほか) 3 薄膜評価法(膜厚・形状評価 結晶構造評価 ほか) 4 薄膜の機能と応用(半導体薄膜(シリコン系) 半導体薄膜(化合物) ほか) |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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理系図2F 開架 | 549.8/N 71 | 2016 |
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031112017002140 |
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筑紫図 1D 450-599 | 549.8/N 71 | 2016 |
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160012024001278 |
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書誌詳細
| 一般注記 | 監修: 金原粲 文献: 各章末 |
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| 著者標目 | 日本学術振興会薄膜第131委員会 <ニホン ガクジュツ シンコウカイ ハクマク ダイ131 イインカイ> 吉田, 貞史 <ヨシダ, サダフミ> 近藤, 高志 <コンドウ, タカシ> 金原, 粲 (1933-) <キンバラ, アキラ> |
| 件 名 | BSH:薄膜 |
| 分 類 | NDC8:549.8 NDC9:549.8 NDLC:ND371 |
| 書誌ID | 1001640569 |
| ISBN | 9784621300985 |
| NCID | BB22618766 |
| 巻冊次 | ISBN:9784621300985 ; PRICE:3800円+税 |
| NBN | JP22823562 |
| 登録日 | 2017.09.14 |
| 更新日 | 2024.07.01 |