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＜図書＞
ポストシリコン半導体 : ナノ成膜ダイナミクスと基板・界面効果
ポスト シリコン ハンドウタイ : ナノ セイマク ダイナミクス ト キバン カイメン コウカ
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | 東京 : エヌ・ティー・エス , 2013.6 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | 2, 10, 510, 15p, 図版18p : 挿図 ; 27cm |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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筑紫図 1D 450-599 | 549.8/P 84 | 2013 |
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060112014004488 |
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書誌詳細
| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:ポストシリコン半導体 : ナノ成膜ダイナミクスと基板界面効果 |
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| 一般注記 | 文献: 各節末 |
| 書誌ID | 1001551544 |
| ISBN | 9784864690591 |
| NCID | BB12654468 |
| 巻冊次 | ISBN:9784864690591 ; PRICE:44000円+税 |
| 登録日 | 2014.12.25 |
| 更新日 | 2014.12.25 |