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＜図書＞
マイクロ・ナノ領域の超精密技術
マイクロ ナノ リョウイキ ノ チョウセイミツ ギジュツ
| 責任表示 | 日本学術振興会将来加工技術第136委員会編 |
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| データ種別 | 図書 |
| 出版情報 | 東京 : オーム社 , 2011.3 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | ix, 374p : 挿図 ; 22cm |
| 目次 | 第1章 序論 第2章 超精密微細加工技術 第3章 デバイス創成技術 第4章 洗浄技術 第5章 表面形状評価 第6章 マイクロ・ナノレベルの材料評価技術 付録 |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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理系図2F 開架 | 532/N 71 | 2011 |
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031112012005037 |
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書誌詳細
| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:マイクロナノ領域の超精密技術 |
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| 一般注記 | 参考文献: 章末 |
| 著者標目 | 日本学術振興会将来加工技術第136委員会 <ニホン ガクジュツ シンコウカイ ショウライ カコウ ギジュツ ダイ136 イインカイ> |
| 件 名 | BSH:機械工作 BSH:ナノテクノロジー NDLSH:精密機械 |
| 分 類 | NDC8:532 NDC9:532 |
| 書誌ID | 1001490178 |
| ISBN | 9784274210051 |
| NCID | BB05402454 |
| 巻冊次 | ISBN:9784274210051 ; PRICE:5500円+税 |
| 登録日 | 2012.11.06 |
| 更新日 | 2012.11.06 |