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＜図書＞
現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス
ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク キュー アンド エー : ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス
| 責任表示 | 小島啓安著 |
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| データ種別 | 図書 |
| 出版情報 | 東京 : 日刊工業新聞社 , 2008.8 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | ix, 384p ; 21cm |
| 目次 | 第1部 基礎編(はじめに スパッタリングの基礎知識 いろいろなスパッタ法 反応性高速スパッタ法) 第2部 実践編(ターゲットとカソード アーキング対策とアノード コンポーネント 膜質) 第3部 応用編(装置 測定 応用)続きを見る |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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筑紫図 1D 450-599 | 549.8/Ko 39 | 2010 |
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060112010003595 |
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