<図書>
The physics of microfabrication
責任表示 | Ivor Brodie and Julius J. Muray |
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データ種別 | 図書 |
出版情報 | New York : Plenum Press , c1982 |
本文言語 | 英語 |
大きさ | xix, 503 p. : ill. ; 24 cm |
所蔵情報
状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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理系図2F 開架 | 549.8/B 75 |
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068222183001391 |
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書誌詳細
一般注記 | Bibliography: p. 471-489 Includes index |
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著者標目 | *Brodie, Ivor Muray, Julius J. |
件 名 | LCSH:Microelectronics LCSH:Thin-film circuits |
分 類 | LCC:TK7874 DC19:621.381/7 |
書誌ID | 1001392506 |
ISBN | 0306408635 |
NCID | BA01461465 |
巻冊次 | ISBN:0306408635 |
登録日 | 2009.11.02 |
更新日 | 2009.11.02 |