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<図書>
The physics of microfabrication

責任表示 Ivor Brodie and Julius J. Muray
データ種別 図書
出版情報 New York : Plenum Press , c1982
本文言語 英語
大きさ xix, 503 p. : ill. ; 24 cm

所蔵情報



理系図2F 開架 549.8/B 75

068222183001391

書誌詳細

一般注記 Bibliography: p. 471-489
Includes index
著者標目 *Brodie, Ivor
Muray, Julius J.
件 名 LCSH:Microelectronics
LCSH:Thin-film circuits
分 類 LCC:TK7874
DC19:621.381/7
書誌ID 1001392506
ISBN 0306408635
NCID BA01461465
巻冊次 ISBN:0306408635
登録日 2009.11.02
更新日 2009.11.02

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