Mendeley出力
＜図書＞
半導体リソグラフィ技術
ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
| 責任表示 | 鳳紘一郎編著 |
|---|---|
| シリーズ | 集積回路プロセス技術シリーズ |
| データ種別 | 図書 |
| 版 | 第4刷 |
| 出版情報 | 東京 : 産業図書 , 1990.6 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | vi, 222 p. ; 22 cm |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
|
理系図 自動書庫 | 549.8 | 1990 |
|
068251191004133 |
|