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<図書>
ドライプロセス応用技術 : 超微細素子の製法
ドライ プロセス オウヨウ ギジュツ : チョウビサイ ソシ ノ セイホウ

責任表示 小林春洋〔ほか〕著
データ種別 図書
出版情報 東京 : 日刊工業新聞社 , 1984.7
本文言語 日本語
大きさ 199,6p ; 22cm

所蔵情報



理系図 自動書庫 B/Kob 1984
068251185008960


理系図 自動書庫 U2/Kob 1984
068251186003247

書誌詳細

著者標目 小林, 春洋(1925-) <コバヤシ, ハルヒロ>
件 名 NDLSH:電子部品
NDLSH:薄膜
NDLSH:印刷回路
分 類 NDC8:549.8
NDLC:ND354
書誌ID 1001368449
ISBN 4526017442
NCID BN00036182
巻冊次 ISBN:4526017442 ; PRICE:3300円
NBN JP84053480
登録日 2009.09.18
更新日 2009.09.18