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＜図書＞
マイクロマシン技術
マイクロマシン ギジュツ
| 責任表示 | 北原時雄, 石川雄一監修 |
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| シリーズ | CMCテクニカルライブラリー ; 250 |
| データ種別 | 図書 |
| 版 | 普及版 |
| 出版情報 | 東京 : シーエムシー出版 , 2007.2 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | vi, 328p : 挿図 ; 21cm |
| 目次 | 基礎編(マイクロファブリケーション マイクロ駆動機構(アクチュエータと機構) マイクロエネルギーデバイス マイクロメカニカルセンサ) 応用編(マイクロ加工表面修飾による新機能発現 マイクロデバイス トータルマイクロシステム) |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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理系図2F 開架 | 530/Ki 64 | 2007 |
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031112007002616 |
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