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＜図書＞
はじめてのナノインプリント技術
ハジメテ ノ ナノインプリント ギジュツ
| 責任表示 | 谷口淳著 |
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| シリーズ | ビギナーズブックス ; 38 |
| データ種別 | 図書 |
| 出版情報 | 東京 : 工業調査会 , 2005.12 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | 215p : 挿図 ; 21cm |
| 概要 | 「ナノインプリント」の歴史はまだ10年である。本書は、ナノインプリントの技術の発展や背景、あるいは企業動向をこの一冊でわかるようにまとめている。どの科学技術分野でも、その技術だけではなく周辺技術とその関係が非常に重要になるが、ナノインプリント技術の場合も、半導体製造技術と機械加工技術といった、両極端の幅の広い分野との絡みがあるため、しばしば混乱を生じることが多い。このようなところを交通整理して、必...最小限で理解が進むように気をつけながら解説されている。ナノインプリント技術の基礎を学ぶ絶好の書である。続きを見る |
| 目次 | 第1章 ナノインプリント技術とは 第2章 ナノインプリント技術のための要素技術 第3章 ナノインプリントリソグラフィ 第4章 ナノインプリント技術の位置付け 第5章 ナノインプリント技術の動向 第6章 ナノインプリント技術の将来展望 |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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芸工図 2F 工学図書室 | 508/B32/38 | 2005 |
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013112005019987 |
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