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＜図書＞
レジスト材料
レジスト ザイリョウ
| 責任表示 | 伊藤洋著 ; 高分子学会編集 |
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| シリーズ | 高分子先端材料One Point / 高分子学会編集 ; 10 |
| データ種別 | 図書 |
| 出版情報 | 東京 : 共立出版 , 2005.2 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | iv, 104p : 挿図 ; 19cm |
| 目次 | 第1章 リソグラフィ技術による微細加工とレジスト(レジストとは何か? レジストの分類 レジストに要求される性能と特性評価法) 第2章 レジスト材料とリソグラフィ技術の発展の歴史(架橋ネガ型レジスト ポジ型フォトレジスト ほか) 第3章 化学増幅レジスト(酸触媒反応—増幅の化学 酸発生剤 ほか) 第4章 現状と将来 第5章 おわりに |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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理系図2F 開架 | 578.08/Ko 14 | 2006 |
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031112006003908 |
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筑紫図 1D 450-599 | 578.08/Ko 14/10 | 2005 |
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067112005000423 |
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工応化 分子情(分) | 549.7/I 86 | 2005 |
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027112006000502 |
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書誌詳細
| 著者標目 | 伊藤, 洋(1946-) <イトウ, ヒロシ> 高分子学会 <コウブンシ ガッカイ> |
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| 件 名 | BSH:リソグラフィー BSH:感光性樹脂 |
| 分 類 | NDC8:549.7 NDC9:549.7 |
| 書誌ID | 1001274029 |
| ISBN | 4320043723 |
| NCID | BA70954224 |
| 巻冊次 | ISBN:4320043723 ; PRICE:1400円+税 |
| 登録日 | 2009.09.18 |
| 更新日 | 2009.09.18 |