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＜図書＞
SOI構造におけるシリコン結晶薄中の欠陥評価
SOI コウゾウ ニオケル シリコン ケッショウ ハクチュウ ノ ケッカン ヒョウカ
| 責任表示 | 研究代表者 中島寛 |
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| シリーズ | 科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書 ; 平成6年度-平成8年度 |
| データ種別 | 図書 |
| 出版情報 | [福岡] : [九州大学] , 1997.2 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | 38p ; 30cm |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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中央図 自動書庫 | 科研報告/九州大学/06650023 | 1997 |
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003112005503195 |
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書誌詳細
| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:科学研究費補助金(基盤研究(C)(2)研究成果報告書 : 平成6年度-平成8年度 |
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| 一般注記 | 課題番号: 06650023 |
| 著者標目 | 中島, 寛 <ナカシマ, ヒロシ> |
| 書誌ID | 1001272039 |
| NCID | BA7192911X |
| 登録日 | 2009.09.18 |
| 更新日 | 2011.10.07 |