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＜図書＞
プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用
プラズマ プロセス ニヨル ハクマク ノ キソ ト オウヨウ
| 責任表示 | 市村博司, 池永勝著 |
|---|---|
| データ種別 | 図書 |
| 出版情報 | 東京 : 日刊工業新聞社 , 2005.2 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | ix, 276p : 挿図 ; 21cm |
| 目次 | 第1章 薄膜の研究構造—全体を視る眼を養おう 第2章 プラズマプロセスの特異性—診断の木の実 第3章 薄膜の形成過程と構造—ガスも積もれば硬くなる 第4章 内部応力—ストレスのご利益 第5章 薄膜材料の硬さ—硬さの底にあるもの 第6章 密着力—引っ掻くことでわかるもの 第7章 性能劣化—寿命は速度過程である 第8章 複合表面改質—より硬くよりしなやかに 第9章 工業的応用—プラズマのご利益 |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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理系図2F 開架 | 549.8/I 15 | 2005 |
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031112005015170 |
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理系図1F指定 工・材工 | 549.8/I 15 | 2005 |
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031112007006972 |
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書誌詳細
| 別書名 | 標題紙タイトル:Thin films 異なりアクセスタイトル:薄膜の基礎と応用 : プラズマプロセスによる |
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| 一般注記 | 参考文献: 各章末 |
| 著者標目 | 市村, 博司(1941-) <イチムラ, ヒロシ> 池永, 勝 <イケナガ, マサル> |
| 件 名 | NDLSH:薄膜 NDLSH:プラズマ |
| 分 類 | NDC9:549.8 |
| 書誌ID | 1001259591 |
| ISBN | 4526054208 |
| NCID | BA71274597 |
| 巻冊次 | ISBN:4526054208 ; PRICE:3200円+税 |
| 登録日 | 2009.09.18 |
| 更新日 | 2009.09.18 |