<図書>
Lecture notes on principles of plasma processing
| 責任表示 | Francis F. Chen and Jane P. Chang |
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| データ種別 | 図書 |
| 出版情報 | New York : Kluwer Academic/Plenum Publishers , c2003 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | ix, 208 p : ill. ; 28 cm + 1 CD-ROM |
| 概要 | This volume presents an informal set of lecture notes written for a nine-week introductory course on plasma processing for seniors and graduate students. Detailed proofs are omitted, and only the esse...tial elements of plasma physics are given. The Windows-compatible CD-ROM contains color figures, sample homework problems, and exam questions. The authors teach electrical and chemical engineering at UCLA. Annotation (c)2003 Book News, Inc., Portland, OR (booknews.com) 続きを見る |
| 電子版へのリンク | https://hdl.handle.net/2324/6871038 |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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理系図1F 開架 | 427.6/C 38 | 2003 |
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003212005001495 | CD付 |
書誌詳細
| 著者標目 | Chen, Francis F., 1929- Chang, Jane P., 1970- |
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| 件 名 | LCSH:Plasma engineering LCSH:Plasma chemistry LCSH:Plasma dynamics |
| 分 類 | DC21:621.044 |
| 書誌ID | 1001255424 |
| ISBN | 0306474972 |
| NCID | BA61392702 |
| 巻冊次 | ISBN:0306474972 |
| 登録日 | 2009.09.18 |
| 更新日 | 2017.02.18 |
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