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<図書>
Lecture notes on principles of plasma processing

責任表示 Francis F. Chen and Jane P. Chang
データ種別 図書
出版情報 New York : Kluwer Academic/Plenum Publishers , c2003
本文言語 英語
大きさ ix, 208 p : ill. ; 28 cm + 1 CD-ROM
概要 This volume presents an informal set of lecture notes written for a nine-week introductory course on plasma processing for seniors and graduate students. Detailed proofs are omitted, and only the esse...tial elements of plasma physics are given. The Windows-compatible CD-ROM contains color figures, sample homework problems, and exam questions. The authors teach electrical and chemical engineering at UCLA. Annotation (c)2003 Book News, Inc., Portland, OR (booknews.com) 続きを見る
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所蔵情報



理系図1F 開架 427.6/C 38 2003
003212005001495 CD付

書誌詳細

著者標目 Chen, Francis F., 1929-
Chang, Jane P., 1970-
件 名 LCSH:Plasma engineering
LCSH:Plasma chemistry
LCSH:Plasma dynamics
分 類 DC21:621.044
書誌ID 1001255424
ISBN 0306474972
NCID BA61392702
巻冊次 ISBN:0306474972
登録日 2009.09.18
更新日 2017.02.18