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<図書>
半導体評価技術
ハンドウタイ ヒョウカ ギジュツ

責任表示 河東田隆編著 ; 奥村次徳 [ほか] 執筆
シリーズ 集積回路プロセス技術シリーズ
データ種別 図書
出版情報 東京 : 産業図書 , 1989.2
本文言語 日本語
大きさ viii, 330p ; 22cm

所蔵情報



筑紫図 1D 450-599 549.8/Ka 86 2003
067112005002187

書誌詳細

著者標目 河東田, 隆(1944-) <カトウダ, タカシ>
菅野, 卓雄(1931-) <スガノ, タクオ>
奥村, 次徳 <オクムラ, ツグノリ>
件 名 BSH:半導体
NDLSH:半導体
分 類 NDC8:549.8
書誌ID 1001200328
ISBN 478285627X
NCID BN03233656
巻冊次 ISBN:478285627X ; PRICE:4500円
登録日 2009.09.18
更新日 2009.09.18