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<図書>
The MEMS handbook

責任表示 edited by Mohamed Gad-el-Hak
シリーズ The mechanical engineering handbook series
データ種別 図書
出版情報 Boca Raton : CRC Press , c2002
本文言語 英語
大きさ 1 v.(various pagings) ; 26 cm
概要 Microelectromechanical systems (MEMS)-tiny machines between one millimeter and one micron long-are finding increasing application in a variety of industrial and medical fields and have a potential wor...dwide market in the billions of dollars. This handbook explores various aspects of MEMS: their design, fabrication, and applications as well as the physical modeling of their operations. It will be indispensible as a reference for both experienced and graduate student scientists and engineers.続きを見る

所蔵情報



理系図 自動書庫 530//GAD 2002
027212002001960

書誌詳細

一般注記 Includes bibliographical references and index
著者標目 Gad-El-Hak, M.
書誌ID 1001196754
ISBN 0849300770
NCID BA54546125
巻冊次 ISBN:0849300770
登録日 2009.09.18
更新日 2009.09.18