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＜図書＞
半導体プラズマプロセス技術
ハンドウタイ プラズマ プロセス ギジュツ
| 責任表示 | 菅野卓雄編著 |
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| シリーズ | 集積回路プロセス技術シリーズ |
| データ種別 | 図書 |
| 出版情報 | 東京 : 産業図書 , 1980.7 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | 6, 373p ; 22cm |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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理系図2F 開架 | 549.7/Su 25 | 1982 |
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068251183001225 |
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理系図2F 開架 | 549.7/Su 25 | 1984 |
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068251185008996 |
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理系図 自動書庫 | 電気通信/普及財団/寄贈図書 | 1984 |
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068251185015420 |
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理系図 自動書庫 | B/Sug | 1984 |
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068251186003286 |
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理系図 自動書庫 | 549.8 | 1989 |
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068251191002812 |
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総理工 研究室 | 507.7/Su 21 | 1984 |
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062132000000917 |
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書誌詳細
| 一般注記 | 各章末:参考文献 |
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| 著者標目 | 菅野, 卓雄(1931-) <スガノ, タクオ> |
| 件 名 | NDLSH:集積回路 |
| 分 類 | NDC6:549.7 NDC8:549.7 NDLC:ND386 |
| 書誌ID | 1001156904 |
| ISBN | 4782856210 |
| NCID | BN0059785X |
| 巻冊次 | ISBN:4782856210 ; PRICE:4000円 |
| NBN | JP80033444 |
| 登録日 | 2009.09.17 |
| 更新日 | 2015.11.30 |