<図書>
Transmission electron microscopy of silicon VLSI circuits and structures
責任表示 | R.B. Marcus and T.T. Sheng |
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データ種別 | 図書 |
出版情報 | New York : Wiley , c1983 |
本文言語 | 英語 |
大きさ | x, 217 p. : ill. ; 29 cm |
所蔵情報
状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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est. | 理系図 自動書庫 | B/Ma | 1983 |
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068252184004504 |
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書誌詳細
一般注記 | "A Wiley-Interscience publication." Includes bibliographical references and index |
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著者標目 | *Marcus, R. B. (Robert B.) Sheng, T. T. (Tai Tsu) |
件 名 | LCSH:Integrated circuits LCSH:Electron microscopy LCSH:Electron microscope, Transmission |
分 類 | LCC:TK7874 DC19:621.381/73 |
書誌ID | 1001145792 |
ISBN | 0471092517 |
NCID | BA10264217 |
巻冊次 | ISBN:0471092517 ; PRICE:$47.50 |
登録日 | 2009.09.17 |
更新日 | 2009.09.17 |