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<図書>
Transmission electron microscopy of silicon VLSI circuits and structures

責任表示 R.B. Marcus and T.T. Sheng
データ種別 図書
出版情報 New York : Wiley , c1983
本文言語 英語
大きさ x, 217 p. : ill. ; 29 cm

所蔵情報


est. 理系図 自動書庫 B/Ma 1983
068252184004504

書誌詳細

一般注記 "A Wiley-Interscience publication."
Includes bibliographical references and index
著者標目 *Marcus, R. B. (Robert B.)
Sheng, T. T. (Tai Tsu)
件 名 LCSH:Integrated circuits
LCSH:Electron microscopy
LCSH:Electron microscope, Transmission
分 類 LCC:TK7874
DC19:621.381/73
書誌ID 1001145792
ISBN 0471092517
NCID BA10264217
巻冊次 ISBN:0471092517 ; PRICE:$47.50
登録日 2009.09.17
更新日 2009.09.17

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