<図書>
はじめての半導体ナノプロセス
ハジメテ ノ ハンドウタイ ナノプロセス
責任表示 | 前田和夫著 |
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シリーズ | ビギナーズブックス ; 32 |
データ種別 | 図書 |
出版情報 | 東京 : 工業調査会 , 2004.2 |
本文言語 | 日本語 |
大きさ | 239p ; 21cm |
所蔵情報
状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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芸工図 2F 工学図書室 | 508/B32/32 | 2004 |
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072031103019605 |
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書誌詳細
一般注記 | 各章末: 参考文献 |
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著者標目 | 前田, 和夫(1935-) <マエダ, カズオ> |
件 名 | BSH:半導体 BSH:ナノテクノロジー |
分 類 | NDC8:549.8 NDC9:549.8 |
書誌ID | 1001142400 |
ISBN | 4769312253 |
NCID | BA6581000X |
巻冊次 | ISBN:4769312253 |
登録日 | 2009.09.17 |
更新日 | 2009.09.17 |