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<図書>
はじめての半導体ナノプロセス
ハジメテ ノ ハンドウタイ ナノプロセス

責任表示 前田和夫著
シリーズ ビギナーズブックス ; 32
データ種別 図書
出版情報 東京 : 工業調査会 , 2004.2
本文言語 日本語
大きさ 239p ; 21cm

所蔵情報



芸工図 2F 工学図書室 508/B32/32 2004
072031103019605

書誌詳細

一般注記 各章末: 参考文献
著者標目 前田, 和夫(1935-) <マエダ, カズオ>
件 名 BSH:半導体
BSH:ナノテクノロジー
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
書誌ID 1001142400
ISBN 4769312253
NCID BA6581000X
巻冊次 ISBN:4769312253
登録日 2009.09.17
更新日 2009.09.17

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