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<図書>
Materials and processes for microelectronic systems

責任表示 edited by K.M. Nair, R. Pohanka, R.C. Buchanan
シリーズ Ceramic transactions ; v. 15
データ種別 図書
出版情報 Westerville, Ohio : American Ceramic Society , c1990
本文言語 英語
大きさ viii, 733 p. ; 24 cm

所蔵情報



理系図2F 開架 573/C 29/(15) 1990
068252191000415

書誌詳細

一般注記 "Proceedings of the Symposium on Materials and Processes for Microelectronic Systems held during the First International Ceramic Science and Technology Congress held in Anaheim, CA, on October 31-November 3, 1989"--T.p. verso
Includes index
著者標目 *Symposium on Materials and Processes for Microelectronic Systems (1989 : Anaheim, Calif.)
Nair, K. M.
Pohanka, R.
Buchanan, R. C.
Ceramic Science and Technology Congress (1st : 1989 : Anaheim, Calif.)
件 名 LCSH:Microelectronics -- Materials -- Congresses  全ての件名で検索
LCSH:Integrated circuits -- Design and construction -- Congresses  全ての件名で検索
LCSH:Ceramic materials -- Congresses  全ての件名で検索
分 類 LCC:TK7874
DC20:621.381
書誌ID 1001098526
ISBN 0944904319
NCID BA11479536
巻冊次 ISBN:0944904319
登録日 2009.09.17
更新日 2009.09.17