<図書>
Materials and processes for microelectronic systems
| 責任表示 | edited by K.M. Nair, R. Pohanka, R.C. Buchanan |
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| シリーズ | Ceramic transactions ; v. 15 |
| データ種別 | 図書 |
| 出版情報 | Westerville, Ohio : American Ceramic Society , c1990 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | viii, 733 p. ; 24 cm |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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理系図2F 開架 | 573/C 29/(15) | 1990 |
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068252191000415 |
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書誌詳細
| 一般注記 | "Proceedings of the Symposium on Materials and Processes for Microelectronic Systems held during the First International Ceramic Science and Technology Congress held in Anaheim, CA, on October 31-November 3, 1989"--T.p. verso Includes index |
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| 著者標目 | *Symposium on Materials and Processes for Microelectronic Systems (1989 : Anaheim, Calif.) Nair, K. M. Pohanka, R. Buchanan, R. C. Ceramic Science and Technology Congress (1st : 1989 : Anaheim, Calif.) |
| 件 名 | LCSH:Microelectronics -- Materials -- Congresses
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| 分 類 | LCC:TK7874 DC20:621.381 |
| 書誌ID | 1001098526 |
| ISBN | 0944904319 |
| NCID | BA11479536 |
| 巻冊次 | ISBN:0944904319 |
| 登録日 | 2009.09.17 |
| 更新日 | 2009.09.17 |
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