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<図書>
超微細加工入門
チョウビサイ カコウ ニュウモン

責任表示 古川静二郎, 浅野種正共著
データ種別 図書
出版情報 東京 : オーム社 , 1989.6
本文言語 日本語
大きさ viii, 219p ; 22cm

所蔵情報



シ情 情報エレク[AB6] 549 1989
068251189007760


総理工 研究室 420/F 92 1989
062132000001212

書誌詳細

一般注記 各章末: 参考文献
著者標目 古川, 静二郎(1934-) <フルカワ, セイジロウ>
浅野, 種正(1953-) <アサノ, タネマサ>
件 名 BSH:集積回路
分 類 NDC8:549.7
NDC7:549.8
NDLC:ND386
書誌ID 1001079604
ISBN 4274032477
NCID BN03592433
巻冊次 ISBN:4274032477 ; PRICE:2781円
登録日 2009.09.17
更新日 2009.09.17