Mendeley出力
＜図書＞
Process engineering analysis in semiconductor device fabrication
| 責任表示 | Stanley Middleman, Arthur K. Hochberg |
|---|---|
| シリーズ | McGraw-Hill chemical engineering series |
| データ種別 | 図書 |
| 出版情報 | New York : McGraw-Hill , c1993 |
| 大きさ | xvii, 774 p. : ill. ; 25 cm |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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筑紫図 1C 400-449 | 428.8/Mi 14 | c1993 |
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072232000006333 |
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書誌詳細
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | *Middleman, Stanley Hochberg, Arthur K. |
| 件 名 | LCSH:Semiconductors -- Design and construction 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TK7871.85 DC20:621.3815/2 |
| 書誌ID | 1001010714 |
| ISBN | 0070418535 |
| NCID | BA29252530 |
| 巻冊次 | ISBN:0070418535 |
| 登録日 | 2009.09.16 |
| 更新日 | 2009.09.16 |