<図書>
半導体製造装置用語辞典
ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
| 責任表示 | 日本半導体製造装置協会編 |
|---|---|
| データ種別 | 図書 |
| 版 | 第5版 |
| 出版情報 | 東京 : 日刊工業新聞社 , 2000.11 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | xiv, 588p ; 22cm |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
|
中央図 自動書庫 | 549.8/N 71 | 2000 |
|
003112003034211 |
|
書誌詳細
| 別書名 | 標題紙タイトル:Terminological dictionary of semiconductor equipment |
|---|---|
| 著者標目 | 日本半導体製造装置協会 <ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ> |
| 件 名 | BSH:半導体 NDLSH:半導体 -- 辞書 全ての件名で検索 |
| 分 類 | NDC8:549.8 NDC9:549.8 NDLC:ND2 NDLC:ND371 |
| 書誌ID | 1000951368 |
| ISBN | 4526046663 |
| NCID | BA49490746 |
| 巻冊次 | ISBN:4526046663 ; PRICE:4700円+税 |
| NBN | JP20119101 |
| 登録日 | 2009.09.16 |
| 更新日 | 2009.09.16 |
Mendeley出力