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<図書>
半導体製造装置用語辞典
ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン

責任表示 日本半導体製造装置協会編
データ種別 図書
第5版
出版情報 東京 : 日刊工業新聞社 , 2000.11
本文言語 日本語
大きさ xiv, 588p ; 22cm

所蔵情報



中央図 自動書庫 549.8/N 71 2000
003112003034211

書誌詳細

別書名 標題紙タイトル:Terminological dictionary of semiconductor equipment
著者標目 日本半導体製造装置協会 <ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ>
件 名 BSH:半導体
NDLSH:半導体 -- 辞書  全ての件名で検索
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
NDLC:ND2
NDLC:ND371
書誌ID 1000951368
ISBN 4526046663
NCID BA49490746
巻冊次 ISBN:4526046663 ; PRICE:4700円+税
NBN JP20119101
登録日 2009.09.16
更新日 2009.09.16