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＜図書＞
Plasma synthesis and etching of electronic materials : symposium held November 27-30, 1984, Boston, Massachusetts, U.S.A.
| 責任表示 | editors, R.P.H. Chang, B. Abeles |
|---|---|
| シリーズ | Materials Research Society symposia proceedings ; v. 38 |
| データ種別 | 図書 |
| 出版情報 | Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society , c1985 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xv, 522 p. : ill. ; 24 cm |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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筑紫図 Biblio Cookies 2階_会議録 | 501.408/Ma 71/38 | c1985 |
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072232000008251 |
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書誌詳細
| 一般注記 | Papers presented at the Symposium on Plasma Synthesis and Etching of Electronic Materials held in Boston, Mass. on Nov. 27-30, 1984 Includes bibliographies and indexes |
|---|---|
| 著者標目 | Chang, R. P. H. (Robert Pang Heng), 1941- Abeles, B. Symposium on Plasma Synthesis and Etching of Electronic Materials (1984 : Boston, Mass.) Materials Research Society |
| 件 名 | LCSH:Plasma engineering -- Congresses
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| 分 類 | LCC:TA2005 DC19:621.044 |
| 書誌ID | 1000938945 |
| ISBN | 0931837030 |
| NCID | BA03290705 |
| 巻冊次 | ISBN:0931837030 ; PRICE:$43.00 |
| 登録日 | 2009.09.16 |
| 更新日 | 2009.09.16 |