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<図書>
Ion implantation : science and technology

責任表示 edited by J.F. Ziegler
データ種別 図書
出版情報 Orlando, FL : Academic Press , 1984
大きさ 635 p. ; 24 cm

所蔵情報



理系図 自動書庫 U/Zi 1984
068252184011003


総理工 研究室 2986/24/ZIE 1984
062232000001568

書誌詳細

一般注記 Includes index
著者標目 Ziegler, J. F.
件 名 LCSH:Ion implantation
分 類 LCC:QC702.7.I55
DC19:539/.6
書誌ID 1000937845
ISBN 0127806202
NCID BA01370949
巻冊次 alk. paper ; ISBN:0127806202
登録日 2009.09.16
更新日 2009.09.17

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