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＜図書＞
はじめての半導体製造装置
ハジメテ ノ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ
| 責任表示 | 前田和夫著 |
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| シリーズ | ビギナーズブックス ; 3 |
| データ種別 | 図書 |
| 出版情報 | 東京 : 工業調査会 , 1999.3 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | 254p ; 21cm |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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理系図2F 開架 | 549.8/Ma 26 | 2000 |
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003112000027908 |
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芸工図 2F 工学図書室 | 508/B32/3 | 2001 |
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072031101012685 |
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書誌詳細
| 一般注記 | さらに半導体製造装置を学ぶ人のための参考書: p245-247 引用文献および資料: p248-250 |
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| 著者標目 | 前田, 和夫(1935-) <マエダ, カズオ> |
| 件 名 | BSH:半導体 |
| 分 類 | NDC8:549.8 NDC9:549.8 |
| 書誌ID | 1000926884 |
| ISBN | 4769311699 |
| NCID | BA40473169 |
| 巻冊次 | ISBN:4769311699 ; PRICE:2000円 |
| 登録日 | 2009.09.16 |
| 更新日 | 2009.09.18 |