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＜図書＞
Ion implantation and beam processing
| 責任表示 | edited by J.S. Williams, J.M. Poate |
|---|---|
| データ種別 | 図書 |
| 出版情報 | Sydney ; New York : Academic Press , 1984 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xi, 419 p. : ill. ; 24 cm |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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筑紫図 1D 450-599 | 549.8/W 74 | 1984 |
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071232000093210 |
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書誌詳細
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | Williams, J. S. (James Stanislaus) Poate, J. M. |
| 件 名 | LCSH:Ion implantation LCSH:Ion bombardment LCSH:Semiconductor doping LCSH:Electron beams |
| 分 類 | LCC:QC702.7.I55 DC19:621.3815/2 |
| 書誌ID | 1000926293 |
| ISBN | 0127569804 |
| NCID | BA06909986 |
| 巻冊次 | ISBN:0127569804 |
| 登録日 | 2009.09.16 |
| 更新日 | 2009.09.16 |