<図書>
Sputtering of alloys and compounds, electron and neutron sputtering, surface topography
責任表示 | edited by R. Behrisch ; with contributions by R. Behrisch ... [et al.] |
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シリーズ | Topics in applied physics ; v. 52 . Sputtering by particle bombardment / edited by R. Behrisch ; 2 |
データ種別 | 図書 |
出版情報 | Berlin ; Tokyo : Springer-Verlag , 1983 |
本文言語 | 英語 |
大きさ | xii, 391 p. : ill. ; 24 cm |
電子版へのリンク | https://hdl.handle.net/2324/6797034 |
所蔵情報
状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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Ger. | 理系図 自動書庫 | C/Be | 1983 |
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068252183014644 |
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総理工 研究室 | 2918/61/BEH | 1983 |
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062232000008653 |
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総理工 研究室 | 2922/24/BEH | 1983 |
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062232000001366 |
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書誌詳細
一般注記 | Includes bibliographical references and indexes |
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著者標目 | Behrisch, Rainer |
件 名 | LCSH:Sputtering (Physics) LCSH:Solids -- Effect of radiation on 全ての件名で検索 LCSH:Surfaces (Physics) -- Effect of radiation on 全ての件名で検索 |
分 類 | LCC:QC176.8.S72 DC19:530.4/1 |
書誌ID | 1000913692 |
ISBN | 3540125930 |
NCID | BA00899846 |
巻冊次 | : Ger ; ISBN:3540125930 : U.S ; ISBN:0387125930 |
登録日 | 2009.09.16 |
更新日 | 2017.02.18 |