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<図書>
Sputtering of alloys and compounds, electron and neutron sputtering, surface topography

責任表示 edited by R. Behrisch ; with contributions by R. Behrisch ... [et al.]
シリーズ Topics in applied physics ; v. 52 . Sputtering by particle bombardment / edited by R. Behrisch ; 2
データ種別 図書
出版情報 Berlin ; Tokyo : Springer-Verlag , 1983
本文言語 英語
大きさ xii, 391 p. : ill. ; 24 cm
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所蔵情報


Ger. 理系図 自動書庫 C/Be 1983
068252183014644


総理工 研究室 2918/61/BEH 1983
062232000008653


総理工 研究室 2922/24/BEH 1983
062232000001366

書誌詳細

一般注記 Includes bibliographical references and indexes
著者標目 Behrisch, Rainer
件 名 LCSH:Sputtering (Physics)
LCSH:Solids -- Effect of radiation on  全ての件名で検索
LCSH:Surfaces (Physics) -- Effect of radiation on  全ての件名で検索
分 類 LCC:QC176.8.S72
DC19:530.4/1
書誌ID 1000913692
ISBN 3540125930
NCID BA00899846
巻冊次 : Ger ; ISBN:3540125930
: U.S ; ISBN:0387125930
登録日 2009.09.16
更新日 2017.02.18

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