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＜図書＞
Physical sputtering of single-element solids
| 責任表示 | edited by R. Behrisch, with contributions by H.H. Andersen ... [et al.] |
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| シリーズ | Topics in applied physics ; v. 47 . Sputtering by particle bombardment / edited by R. Behrisch ; 1 |
| データ種別 | 図書 |
| 出版情報 | Berlin ; New York : Springer-Verlag , 1981 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | x, 281 p. : ill. ; 24 cm |
| 目次 | 1. Physical sputtering of single-element solids 2. Sputtering of alloys and compounds, electron and neutron sputtering, surface topography 3. Characteristics of sputtered particles, technical applications. |
| 電子版へのリンク | https://hdl.handle.net/2324/6797008 |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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: Ger. | 理系図 自動書庫 | C/Be | 1981 |
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027232003068344 |
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筑紫図 1C 400-449 | 431.5/Sp 9 | 1981 |
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071232000091370 |
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総理工 研究室 | 1526/61/BEH | 1981 |
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062232000008552 |
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総理工 研究室 | 2614/24/BEH | 1981 |
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062232000001330 |
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書誌詳細
| 一般注記 | Includes bibliographical references and indexes |
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| 著者標目 | Behrisch, Rainer Andersen, Hans Henrik |
| 件 名 | LCSH:Sputtering (Physics) LCSH:Solids -- Effect of radiation on 全ての件名で検索 LCSH:Surfaces (Physics) -- Effect of radiation on 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:QC176.8.S72 DC19:530.4/1 |
| 書誌ID | 1000913690 |
| ISBN | 3540105212 |
| NCID | BA00899234 |
| 巻冊次 | : Ger ; ISBN:3540105212 : U.S ; ISBN:0387105212 |
| 登録日 | 2009.09.16 |
| 更新日 | 2017.02.18 |