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<図書>
超微細加工を実現する磁気浮上を用いた微振動の制御
チョウビサイ カコウ オ ジツゲンスル ジキ フジョウ オ モチイタ ビシンドウ ノ セイギョ

責任表示 研究代表者金光陽一
シリーズ 科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書 ; 平成9-11年度
データ種別 図書
出版情報 [福岡] : [九州大学] , 2000.3
本文言語 英語,日本語
大きさ 48p ; 30cm

所蔵情報



中央図 自動書庫 科研報告書/九州大学/09650272 2000
003122000004367

書誌詳細

別書名 異なりアクセスタイトル:平成9-11年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(課題番号09650272)
著者標目 金光, 陽一(1943-) <カネミツ, ヨウイチ>
書誌ID 1000870657
NCID BA46679928
登録日 2009.09.15
更新日 2011.10.07