Si結晶中の照射誘起欠陥の動的挙動の解明とプロセス応用

＜図書＞
Si結晶中の照射誘起欠陥の動的挙動の解明とプロセス応用
Siケッショウチュウノショウシャユウキケッカンノドウテキキョドウノカイメイトプロセスオウヨウ

責任表示	研究代表者佐道泰造
シリーズ	科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書 ; 平成10年度-平成11年度
データ種別	図書
出版情報	[福岡] : [九州大学] , 2000.3
本文言語	日本語,英語
大きさ	63p ; 30cm

状態	巻次	所蔵場所	請求記号	刷年	文庫名称	資料番号	コメント	予約・取寄	複写申込	自動書庫
		中央図自動書庫	科研報告書/九州大学/10650013	2000		003122000004786		予約・取寄		出庫可能	予約・取寄		出庫可能

別書名	異なりアクセスタイトル:平成10年度-平成11年度科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書(課題番号10650013)
著者標目	佐道, 泰造(1967-) <サドウ, タイゾウ>
書誌ID	1000840487
NCID	BA46720260
登録日	2009.09.15
更新日	2011.10.07