Mendeley出力
＜図書＞
ウルトラクリーンULSI技術
ウルトラクリーン ULSI ギジュツ
| 責任表示 | 大見忠弘著 |
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| シリーズ | アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 15 |
| データ種別 | 図書 |
| 出版情報 | 東京 : 培風館 , 1995.12 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | xi, 366p ; 22cm |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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中央図 自動書庫 | 549.7/A 16/(15) | 1995 |
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058111996001474 |
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理系図2F 開架 | 549.7/O 62 | 1995 |
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026111996000128 |
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理系図2F 開架 | 549.7/O 62 | 1997 |
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031112006536823 |
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理系図2F 開架 | 549.7/O 62 |
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031112006604435 |
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芸工図 2F 工学図書室 | 549.08/A16/1-15 | 1995 |
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072031195019091 |
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筑紫図 1D 450-599 | 549.08/A 16/1-15 | 1997 |
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067112001007258 |
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書誌詳細
| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:ウルトラクリーンULSI技術 |
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| 一般注記 | 参考文献: 各章末 |
| 著者標目 | 大見, 忠弘(1939-) <オオミ, タダヒロ> |
| 件 名 | BSH:集積回路 NDLSH:半導体 |
| 分 類 | NDC8:549.7 NDC8:549.8 NDLC:ND371 |
| 書誌ID | 1000266606 |
| ISBN | 4563036153 |
| NCID | BN13643698 |
| 巻冊次 | ISBN:4563036153 ; PRICE:5974円 |
| NBN | JP96031156 |
| 登録日 | 2009.09.11 |
| 更新日 | 2009.09.17 |