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<図書>
プラズマプロセスにおけるサブナノ粒子のその場測定法の開発
プラズマ プロセス ニオケル サブ ナノ リュウシ ノ ソノバ ソクテイホウ ノ カイハツ

責任表示 研究代表者渡辺征夫
シリーズ 科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書
データ種別 図書
出版情報 [福岡] : [九州大学] , 1999.3
本文言語 日本語
大きさ ii, 76p ; 30cm

所蔵情報



中央図 自動書庫 科研報告書/九州大学/07458093 1999
003121999003627

書誌詳細

別書名 標題紙タイトル:平成8ー10年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(課題番号07458093)
著者標目 渡辺, 征夫(1941-) <ワタナベ, ユキオ>
書誌ID 1000171009
NCID BA42094795
登録日 2009.09.11
更新日 2011.10.07