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<図書>
超微細加工の基礎 : 電子デバイスプロセス技術
チョウビサイ カコウ ノ キソ : デンシ デバイス プロセス ギジュツ

責任表示 麻蒔立男著
データ種別 図書
第2版
出版情報 東京 : 日刊工業新聞社 , 2001.9
本文言語 日本語
大きさ x, 295p ; 21cm

所蔵情報



筑紫図 新着図書コーナー 549.8/A 86 2004
160012025000416

書誌詳細

著者標目 麻蒔, 立男 (1934-) <アサマキ, タツオ>
件 名 BSH:半導体
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
書誌ID 1000020779
ISBN 4526048127
NCID BA53699368
巻冊次 ISBN:4526048127 ; PRICE:3900円
登録日 2004.10.21
更新日 2025.11.14

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