Direct observation of vacancy supersaturation in retarded diffusion ofboron in silicon probed by monoenergetic positron beam (Extended abstracts of the 1994 International Conference on Solid State Devices and Materials, Yokohama)

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Direct observation of vacancy supersaturation in retarded diffusion ofboron in silicon probed by monoenergetic positron beam (Extended abstracts of the 1994 International Conference on Solid State Devices and Materials, Yokohama)

責任表示	Masayuki Yoshida
データ種別	図書
出版情報	[Tokyo] : [Business Center for Academic Societies Japan] , 1994
本文言語	英語

状態	巻次	所蔵場所	請求記号	刷年	文庫名称	資料番号	コメント	予約・取寄	複写申込	自動書庫
		芸工図 3F 閲覧室 \| 教員寄贈著作物	AAA611/ヨシダマ/64	1994		072031294011458		予約・取寄			予約・取寄