レーザーアブレーションによるラジカルビーム生成と表面素過程のレーザー分光計測

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レーザーアブレーションによるラジカルビーム生成と表面素過程のレーザー分光計測

フォーマット:
助成・補助金
Kyushu Univ. Production 九州大学成果文献
責任表示:
前田 三男(九州大学・工学部・教授)
本文言語:
日本語
研究期間:
1994
概要(最新報告):
本研究はエキシマーレーザーで固体ターゲット表面をアブレートした際に発生する原子分子ラジカルをビーム源として利用すること、それにLIF-TOF(飛行時間レーザー誘起蛍光)レーザー分光法を適用して表面素過程の観測を行なうことを目的として、平成5年から継続して研究を行なっている。本年度得られた主な研究成果は以下の通りである。 1.パルス色素レーザーシートビームと高感度CCDカメラを組合わせた、二次元LIF-TOF分光計測システムを試作した。これによって特定ラジカルの空間分布がコマ撮りで観測できるようになった。 2.上のシステムを用いて、YBCOの高温超伝導膜のパルスレーザーデポジッション(PLD)における酸素ガスとの反応過程や基板への衝突過程の観測を行なった。 3.アルミナセラミックスをアブレイトした際に発生するアルミニウム原子をスリットから取出しビーム化させ、そのふるまいを上述の二次元LIF-TOF装置でイメージングした。 続きを見る
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類似資料:

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