レーザーアブレーションによるラジカルビーム生成と表面素過程のレーザー分光計測

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レーザーアブレーションによるラジカルビーム生成と表面素過程のレーザー分光計測

フォーマット:
助成・補助金
Kyushu Univ. Production 九州大学成果文献
責任表示:
前田 三男(九州大学・工学部・教授)
本文言語:
日本語
研究期間:
1993
概要(最新報告):
本研究の目的は、エキシマーレーザーアブレーションによって物質表面から瞬間的に各種ラジカルビームが発生することに着目し、それにレーザー誘起蛍光法(LIF)を適用して、発生したビームを表面との相互作用の研究を行なうものである。これまで我々はYBCO高温超伝導膜生成プロセスに適用し、Y,Ba,Cu,YO,BaO,CuO等のビームのふるまいについて研究してきた。これらの成果をもとに、各種ラジカルビームの生成に本方法を適用してゆく。本年度行なった研究は以下の通りである。 1)YBCOアブレーションプロセスについては、YOラジカルビームについてO_2緩衡ガスとの衝突のダイナミックス、基板との相互作用、微粒子の発生についてより詳細な観測を行なった。 2)アルミナセラミックスをアブレイトした時に発生するAl原子ビームのTOF速度分布計測を行ない、酸素との反応について研究した。 3)各種ポリマーのアブレイトを試みたが今のところC_2ラジカルビームのみしか観測していない。今後はさらに多原子のラジカル(CH,CH2,CF等)の観測を行なってゆきたい。 LIF観測系についても次年度は現在のアレイディテクターからCCDカメラに換え、2次元のTOFイメージングを試みる予定である。 続きを見る
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類似資料:

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