プラズマCVDによる複合酸化物薄膜の合成と成膜機構の解析

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プラズマCVDによる複合酸化物薄膜の合成と成膜機構の解析

フォーマット:
助成・補助金
Kyushu Univ. Production 九州大学成果文献
責任表示:
秋山 泰伸(九州大学・機能物質科学研・助手)
本文言語:
日本語
研究期間:
1992
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