高速基板回転CVDによるエピタキシャルYSZ薄膜の合成

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高速基板回転CVDによるエピタキシャルYSZ薄膜の合成

フォーマット:
助成・補助金
Kyushu Univ. Production 九州大学成果文献
責任表示:
佐藤 恒之(九州大学・機能物質科学研・助教授)
本文言語:
日本語
研究期間:
1992
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