プラズマガス(メタン・シラン等)の電子による励起解離過程の解析

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プラズマガス(メタン・シラン等)の電子による励起解離過程の解析

フォーマット:
助成・補助金
Kyushu Univ. Production 九州大学成果文献
責任表示:
小川 禎一郎(九州大学・総合理工学研究科分子工学専攻・教授)
本文言語:
日本語
研究期間:
1988
概要(最新報告):
プラズマ過程で重要な水・シランを試料に、電子による励起解難過程の解析を行い、励起水素原子の生成断面積を求めた。 1.装置の改良……助成金により隔膜型圧力計を購入し電子-分子衝突室に取りつけ、測定中の試料圧をモニターし、断面積が正確に測定できるようにした。助成金によりメモリーボードを購入し、現有のコンピュータに組み込み、データ解析能力を向上させた。 2.断面積測定法……電子-分子衝突による発光断面積を測定する手法について吟味し、次の諸点の吟味が必要なことを示した。 【○!1】分光測定及び圧力測定の絶対較正 【○!2】カスケード効果の補正 【○!3】測定領域からの逃げの補正 【○!4】スペクトル線の純度。これらの諸点の内でも第3点と第4点については従来ほとんど考慮されていない。 3.水の測定と解析……水の電子衝撃で生成した励起水素原子のバルマーα、β線のドプラー線形を、従来よりも高い精度で再測定し解析した。水の4つの主要な励起水素原子生成過程につき角度差ドプラー線形を求めて励起過程の対称性を決めるとともに、並進運動エネルギー分布により解離過程を分類しそれらの生成断面積を求め、プラズマ過程のシミュレーションに必要なデータをえた。 4.シランの測定と解析……シランの電子衝撃により生成する励起水素原子のバルマーα、β線のドプラー線形をファブリペロ干渉計により高分解能で測定した。4つの主要な励起水素原子生成過程があった。それらのしきい値と並進運動エネルギー分布はそれぞれ、(1)19-21eV、0-2eV、(2)23-25eV、0-2eV、(3)35-40eV、2-5eV、(4)50-60eV、6-10eVであった。これらの励起水素原子の並進運動エネルギー分布別の発光断面積を求めた。 続きを見る
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