レーザー螢光分光法によるスパッター粒子密度,速度分布関数の詳細測定

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レーザー螢光分光法によるスパッター粒子密度,速度分布関数の詳細測定

フォーマット:
助成・補助金
Kyushu Univ. Production 九州大学成果文献
責任表示:
村岡 克紀(九大・国立大学(その他)・教授)
本文言語:
日本語
研究期間:
1986
概要(最新報告):
1.イオンビームによりスパッターされた粒子の放出角度分布、エネルギー分布をレーザー螢光法により詳細に測定した結果、以下の成果を得た。 (1)放出角度分布 垂直に入射するイオンビームを低エネルギーから高エネルギーにしていくにつれて、余弦分布(入射ビームエネルギー1kev前後)からオーバー余弦(2kev程度以上)となることを示した。その原因をコンピュータシミュレーション結果と対比して考察し、低次反跳原子と表面散乱の競争で決まることを明らかにした(裏面第1文献に発表)。 (2)エネルギー分布 酸化鉄から放出された鉄原子のエネルギー分布を本研究代表者のグループで開発した高速周波数掃引レーザーにより測定した結果、純鉄の表面結合エネルギー(4.3eV)より大きい(約10eV)トムソン分布で表されることを初めて明らかにした(第3文献に発表)。また、斜め入射のイオンビームによるスパッター鉄原子について、低次反跳原子に基づくエネルギー分布のトムソン分布からのずれを定量的に明らかにした(第5文献に発表)。 また、以上(1),(2)の結果をまとめて、第4,第6文献に発表した。 2.スパッタリングに利用するレーザー螢光法の適用範囲の拡大 レーザー螢光法の適用範囲は、主として同調可能なレーザー光源により決定される。現在、水素、炭素や酸素等のスパッタリング粒子として重要な軽原子が測定出来ないのはそれらを検出するのに必要な真空紫外レーザーが存在しないからであるが、本研究では昨年に行った水素に同調できる第三高調波発生につづいて、今年度四波混合による光源の開発を行い、その可能性があることを示した(第2文献に発表)。また大出力レーザーによる二光子励起法を検討し、スパッタリング用粒子計測法として有効であることを初めて明らかにした。 続きを見る
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類似資料:

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