<図書>
分光エリプソメトリー
ブンコウ エリプソメトリー
責任表示 | 藤原裕之著 |
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データ種別 | 図書 |
版 | 第2版 |
出版者 | 東京 : 丸善出版 |
出版年 | 2011.5 |
本文言語 | 日本語 |
大きさ | x, 369p ; 21cm |
概要 | 「第2版」では最新の動向を踏まえ、特に有機デバイスの評価に必要な「光学異方性の測定評価」とその解析例を新たに追加。さらに読者がより内容を理解しやすいように全体的に説明を増やし、近年開発された様々なエリプソメトリー装置の原理等についても解説を加えた。 |
目次 | 第1章 分光エリプソメトリーとは 第2章 光学の基礎 第3章 偏光 第4章 分光エリプソメトリーの原理 第5章 データ解析 第6章 光学異方性の評価 第7章 材料別解析例 第8章 分光エリプソメトリーによる実時間観測 |
所蔵情報
状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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理系図1F 開架 | 433.57/F 68 | 2011 |
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031112017601001 |
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[伊都]先導研 | 433.57/F 68 | 2012 |
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011112013000223 |
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書誌詳細
別書名 | その他のタイトル:Spectroscopic ellipsometry : principles and applications |
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一般注記 | 「Spectroscopic ellipsometry : principles and applications」(J. Wiley & Sons, 2007年刊) の日本語版 文献あり |
著者標目 | 藤原, 裕之 <フジワラ, ヒロユキ> |
件 名 | BSH:光学分析 BSH:偏光 NDLSH:分光化学 |
分 類 | NDC8:433.5 NDC9:433.57 |
書誌ID | 1001522043 |
ISBN | 9784621083222 |
NCID | BB05848282 |
巻冊次 | ISBN:9784621083222 ; PRICE:5800円+税 |
登録日 | 2013.12.17 |
更新日 | 2013.12.17 |