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<図書>
ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎
ドライ プロセス ニヨル ヒョウメン ショリ ハクマク ケイセイ ノ キソ

責任表示 表面技術協会編
データ種別 図書
出版者 東京 : コロナ社
出版年 2013.5
本文言語 日本語
大きさ vi, 198p ; 21cm
目次 1 ドライプロセスとプラズマ(表面処理
ドライプロセスと真空 ほか)
2 真空およびプラズマ(真空
プラズマ ほか)
3 ドライプロセスによる表面処理と薄膜形成(真空蒸着
イオンプレーティング ほか)
4 分析と評価(膜厚測定
表面分析 ほか)

所蔵情報


筑紫図 1C 和500-599 566.78/H 99 2013
060112013001908

書誌詳細

別書名 奥付タイトル:Introduction to dry processing for surface finishing and thin film coating
異なりアクセスタイトル:ドライプロセスによる表面処理薄膜形成の基礎
一般注記 引用・参考文献: p[186]-195
著者標目 表面技術協会 <ヒョウメン ギジュツ キョウカイ>
件 名 BSH:めっき
NDLSH:金属表面処理
NDLSH:薄膜
NDLSH:真空蒸着
分 類 NDC8:566.78
NDC9:566.78
NDC9:566.7
書誌ID 1001514000
ISBN 9784339046311
NCID BB12458539
巻冊次 ISBN:9784339046311 ; PRICE:2800円+税
登録日 2013.08.28
更新日 2013.08.28

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