<図書>
ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎
ドライ プロセス ニヨル ヒョウメン ショリ ハクマク ケイセイ ノ キソ
責任表示 | 表面技術協会編 |
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データ種別 | 図書 |
出版者 | 東京 : コロナ社 |
出版年 | 2013.5 |
本文言語 | 日本語 |
大きさ | vi, 198p ; 21cm |
目次 | 1 ドライプロセスとプラズマ(表面処理 ドライプロセスと真空 ほか) 2 真空およびプラズマ(真空 プラズマ ほか) 3 ドライプロセスによる表面処理と薄膜形成(真空蒸着 イオンプレーティング ほか) 4 分析と評価(膜厚測定 表面分析 ほか) |
所蔵情報
状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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筑紫図 1C 和500-599 | 566.78/H 99 | 2013 |
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060112013001908 |
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書誌詳細
別書名 | 奥付タイトル:Introduction to dry processing for surface finishing and thin film coating 異なりアクセスタイトル:ドライプロセスによる表面処理薄膜形成の基礎 |
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一般注記 | 引用・参考文献: p[186]-195 |
著者標目 | 表面技術協会 <ヒョウメン ギジュツ キョウカイ> |
件 名 | BSH:めっき NDLSH:金属表面処理 NDLSH:薄膜 NDLSH:真空蒸着 |
分 類 | NDC8:566.78 NDC9:566.78 NDC9:566.7 |
書誌ID | 1001514000 |
ISBN | 9784339046311 |
NCID | BB12458539 |
巻冊次 | ISBN:9784339046311 ; PRICE:2800円+税 |
登録日 | 2013.08.28 |
更新日 | 2013.08.28 |