<図書>
現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス
ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク キュー アンド エー : ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス
責任表示 | 小島啓安著 |
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データ種別 | 図書 |
出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
出版年 | 2008.8 |
本文言語 | 日本語 |
大きさ | ix, 384p ; 21cm |
目次 | 第1部 基礎編(はじめに スパッタリングの基礎知識 いろいろなスパッタ法 反応性高速スパッタ法) 第2部 実践編(ターゲットとカソード アーキング対策とアノード コンポーネント 膜質) 第3部 応用編(装置 測定 応用)続きを見る |
所蔵情報
状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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筑紫図 1C 和500-599 | 549.8/Ko 39 | 2010 |
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060112010003595 |
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書誌詳細
別書名 | 異なりアクセスタイトル:現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス |
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一般注記 | 参考文献: p372-380 |
著者標目 | 小島, 啓安 <コジマ, ヒロヤス> |
件 名 | BSH:薄膜 |
分 類 | NDC8:549.8 NDC9:549.8 |
書誌ID | 1001432954 |
ISBN | 9784526061196 |
NCID | BA87015099 |
巻冊次 | ISBN:9784526061196 ; PRICE:3000円+税 |
登録日 | 2010.11.02 |
更新日 | 2010.11.02 |