<図書>
ナノ構造の新作製法としてのプラズマ異方性CVD
ナノ コウゾウ ノ シンサクセイホウ トシテノ プラズマ イホウセイ CVD
責任表示 | 研究代表者 白谷正治 |
---|---|
シリーズ | 科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書 ; 平成16-18年度 |
データ種別 | 図書 |
出版者 | [福岡] : [九州大学] |
出版年 | 2007.5 |
本文言語 | 日本語,英語 |
大きさ | 1冊 ; 30cm |
所蔵情報
状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
中央図 自動書庫 | 科研報告/九州大学/16360020 | 2007 |
|
003112007508287 |
|
書誌詳細
別書名 | 異なりアクセスタイトル:平成16-18年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書 |
---|---|
一般注記 | 課題番号: 16360020 |
著者標目 | 白谷, 正治 <シラタニ, マサハル> |
書誌ID | 1001334994 |
NCID | BA82176013 |
登録日 | 2009.09.18 |
更新日 | 2011.10.07 |