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<図書>
MEMS・NEMSの最新動向 : マイクロマシンの基礎と応用
MEMS NEMS ノ サイシン ドウコウ : マイクロ マシン ノ キソ ト オウヨウ

責任表示 東レリサーチセンター調査研究部門
シリーズ TRC R&D library
データ種別 図書
出版者 東京 : 東レリサーチセンター
出版年 2004.5
本文言語 日本語
大きさ 8, 4, 383p ; 30cm

所蔵情報


筑紫図 1C 和500-599 530/M 38 2004
067112004001932

書誌詳細

著者標目 東レリサーチセンター調査研究部門 <トウレ リサーチ センター チョウサ ケンキュウ ブモン>
件 名 NDLSH:マイクロマシン
分 類 NDC9:530
NDLC:NB21
書誌ID 1001277727
NCID BA70523925
巻冊次 PRICE:68000円+税
NBN JP20632148
登録日 2009.09.18
更新日 2009.09.18

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