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<図書>
プラズマ・イオンビーム応用とナノテクノロジー
プラズマ イオン ビーム オウヨウ ト ナノテクノロジー

責任表示 上條榮治監修
データ種別 図書
出版者 東京 : シーエムシー出版
出版年 2002.3
本文言語 日本語
大きさ 316p ; 26cm

所蔵情報


筑紫図 1C 和500-599 549.1/Ka 37 2002
067112006000424

書誌詳細

別書名 標題紙タイトル:Ion beam and plasma process for nanotechnology
著者標目 上條, 榮治 <カミジョウ, エイジ>
件 名 BSH:イオンビーム
BSH:プラズマ
BSH:ナノテクノロジー
分 類 NDC8:549.1
NDC9:549.1
書誌ID 1001189573
ISBN 4882313472
NCID BA57457178
巻冊次 ISBN:4882313472 ; PRICE:65000円+税
登録日 2009.09.18
更新日 2009.09.18

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